Real Time Infra-Red Absorption Analysis of Nitridation of...

Journal of The Electrochemical Society 2013 / 02 Vol. 160; Iss. 4

Real Time Infra-Red Absorption Analysis of Nitridation of GaAs(001) by Hydrazine Solutions

Paget, D., Berkovits, V. L., Ulin, V. P., Ozanam, F., Dumas, P., Kubsky, S., Lahlil, K., Bideux, L., Monier, G.
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Volume:
160
Langue:
english
Journal:
Journal of the Electrochemical Society
DOI:
10.1149/2.063304jes
Date:
February, 2013
Fichier:
PDF, 1.14 MB
english, 2013
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