A high precision SOI MEMS–CMOS ±4g piezoresistive...

Sensors and Actuators A: Physical 2014 / 04 Vol. 210

A high precision SOI MEMS–CMOS ±4g piezoresistive accelerometer

Roy, Anindya Lal, Sarkar, Hrishikesh, Dutta, Anupam, Bhattacharyya, Tarun Kanti
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Volume:
210
Langue:
english
Journal:
Sensors and Actuators A: Physical
DOI:
10.1016/j.sna.2014.01.036
Date:
April, 2014
Fichier:
PDF, 3.35 MB
english, 2014
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