ECR plasma polishing of CVD diamond films

Diamond and Related Materials 1996 / 5 Vol. 5; Iss. 6-8

ECR plasma polishing of CVD diamond films

Buchkremer-Hermanns, H., Long, C., Weiss, H.
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Volume:
5
Langue:
english
Journal:
Diamond and Related Materials
DOI:
10.1016/0925-9635(95)00484-X
Date:
May, 1996
Fichier:
PDF, 434 KB
english, 1996
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