Characterization of frequency tuning using focused ion beam...

Journal of Micromechanics and Microengineering 2007 / 02 Vol. 17; Iss. 2

Characterization of frequency tuning using focused ion beam platinum deposition

Enderling, Stefan, Hedley, John, Jiang, Liudi, Cheung, Rebecca, Zorman, Christian, Mehregany, Mehran, Walton, Anthony J
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Volume:
17
Langue:
english
Journal:
Journal of Micromechanics and Microengineering
DOI:
10.1088/0960-1317/17/2/005
Date:
February, 2007
Fichier:
PDF, 373 KB
english, 2007
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