Dielectric properties of rf sputtered Ta 2...

Semiconductor Science and Technology 2005 / 02 Vol. 20; Iss. 2

Dielectric properties of rf sputtered Ta 2 O 5 on rapid thermally nitrided Si

Novkovski, N, Paskaleva, A, Atanassova, E
Avez-vous aimé ce livre?
Quelle est la qualité du fichier téléchargé?
Veuillez télécharger le livre pour apprécier sa qualité
Quelle est la qualité des fichiers téléchargés?
Volume:
20
Langue:
english
Journal:
Semiconductor Science and Technology
DOI:
10.1088/0268-1242/20/2/023
Date:
February, 2005
Fichier:
PDF, 161 KB
english, 2005
La conversion en est effectuée
La conversion en a échoué