Study of erosion of TiN coating in a hydrogen discharge with oscillating electrons
V.S. Voitsenya, Yu.A. Gribanov, N.P. Dikij, P.N. Zhmurin, A.N. LetuchijVolume:
176-177
Année:
1990
Langue:
english
Pages:
4
DOI:
10.1016/0022-3115(90)90163-h
Fichier:
PDF, 316 KB
english, 1990