First-principles molecular dynamics study of the thermal...

Thin Solid Films 2013 / 10 Vol. 545

First-principles molecular dynamics study of the thermal stability of the BN, AlN, SiC and SiN interfacial layers in TiN-based heterostructures: Comparison with experiments

Ivashchenko, V.I., Vepřek, S.
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Volume:
545
Langue:
english
Journal:
Thin Solid Films
DOI:
10.1016/j.tsf.2013.08.047
Date:
October, 2013
Fichier:
PDF, 1.70 MB
english, 2013
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