Nanopatterning of diblock copolymer directed self-assembly...

Nanopatterning of diblock copolymer directed self-assembly lithography with wet development

Muramatsu, Makoto
Avez-vous aimé ce livre?
Quelle est la qualité du fichier téléchargé?
Veuillez télécharger le livre pour apprécier sa qualité
Quelle est la qualité des fichiers téléchargés?
Volume:
11
Langue:
english
Journal:
Journal of Micro/Nanolithography, MEMS, and MOEMS
DOI:
10.1117/1.JMM.11.3.031305
Date:
July, 2012
Fichier:
PDF, 1.69 MB
english, 2012
La conversion en est effectuée
La conversion en a échoué