Enlargement Growth of Large 4H-SiC Bulk Single Crystal

Materials Science Forum 2011 / 3 Vol. 679-680

Enlargement Growth of Large 4H-SiC Bulk Single Crystal

Kato, Tomohisa, Miura, Tomonori, Nagai, Ichiro, Taniguchi, Hiroyoshi, Kawashima, Hideaki, Ozawa, Tetsuya, Arai, Kazuo, Okumura, Hajime
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Volume:
679-680
Langue:
english
Journal:
Materials Science Forum
DOI:
10.4028/www.scientific.net/MSF.679-680.3
Date:
March, 2011
Fichier:
PDF, 2.79 MB
english, 2011
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