X-ray scattering study of hydrogen implantation in silicon

Journal of Applied Physics 2006 Vol. 99; Iss. 10

X-ray scattering study of hydrogen implantation in silicon

Sousbie, Nicolas, Capello, Luciana, Eymery, Joël, Rieutord, François, Lagahe, Chrystelle
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Volume:
99
Année:
2006
Langue:
english
Journal:
Journal of Applied Physics
DOI:
10.1063/1.2198928
Fichier:
PDF, 1007 KB
english, 2006
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