Characterization of micromechanical structures using...

Measurement Science and Technology 2003 / 10 Vol. 14; Iss. 10

Characterization of micromechanical structures using white-light interferometry

O Mahony, Conor, Hill, Martin, Brunet, Magali, Duane, Russell, Mathewson, Alan
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Volume:
14
Langue:
english
Journal:
Measurement Science and Technology
DOI:
10.1088/0957-0233/14/10/310
Date:
October, 2003
Fichier:
PDF, 500 KB
english, 2003
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