Time-resolved investigation of dual high power impulse...

Time-resolved investigation of dual high power impulse magnetron sputtering with closed magnetic field during deposition of Ti–Cu thin films

Stranak, Vitezslav, Cada, Martin, Hubicka, Zdenek, Tichy, Milan, Hippler, Rainer
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Volume:
108
Année:
2010
Langue:
english
Journal:
Journal of Applied Physics
DOI:
10.1063/1.3467001
Fichier:
PDF, 1.30 MB
english, 2010
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