Fast Growth of Polycrystalline Film in SiCl...

Chinese Physics Letters 2004 / 06 Vol. 21; Iss. 6

Fast Growth of Polycrystalline Film in SiCl 4 /H 2 Plasma

Rui, Huang, Xuan-Ying, Lin, Yun-Peng, Yu, Kui-Xun, Lin, Jun-Hong, Wei, Chu-Ying, Yu, Zhao-Kui, Wang
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Volume:
21
Langue:
english
Journal:
Chinese Physics Letters
DOI:
10.1088/0256-307X/21/6/053
Date:
June, 2004
Fichier:
PDF, 261 KB
english, 2004
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