A new hybrid fabrication process for a high sensitivity...

Microsystem Technologies 2013 / 09 Vol. 19; Iss. 9-10

A new hybrid fabrication process for a high sensitivity MEMS microphone

Paul C.-P. Chao, Chun-Yin Tsai, Chi-Wei Chiu, Che-Hung Tsai…
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Volume:
19
Langue:
english
DOI:
10.1007/s00542-013-1829-5
Date:
September, 2013
Fichier:
PDF, 775 KB
english, 2013
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