Influence of gas mixing on the lateral uniformity in...

Journal of Crystal Growth 1991 Vol. 107; Iss. 1-4

Influence of gas mixing on the lateral uniformity in horizontal MOVPE reactors

I. Moerman, G. Coudenys, P. Demeester, B. Turner, J. Crawley
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Volume:
107
Année:
1991
Langue:
english
Pages:
6
DOI:
10.1016/0022-0248(91)90452-b
Fichier:
PDF, 298 KB
english, 1991
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