Double oxide deposition and etching nanolithography for...

Double oxide deposition and etching nanolithography for wafer-scale nanopatterning with high-aspect-ratio using photolithography

Seo, Jungho, Cho, Hanchul, Lee, Ju-kyung, Lee, Jinyoung, Busnaina, Ahmed, Lee, HeaYeon
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Volume:
103
Année:
2013
Langue:
english
Journal:
Applied Physics Letters
DOI:
10.1063/1.4813738
Fichier:
PDF, 1.97 MB
english, 2013
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