A nanofactory by focused ion beam

Journal of Micromechanics and Microengineering 2005 / 10 Vol. 15; Iss. 10

A nanofactory by focused ion beam

Fujii, Toshiaki, Iwasaki, Koji, Munekane, Masanao, Takeuchi, Toshitada, Hasuda, Masakatsu, Asahata, Tatsuya, Kiyohara, Masahiro, Kogure, Toshiharu, Kijima, Yukimitsu, Kaito, Takashi
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Volume:
15
Langue:
english
Journal:
Journal of Micromechanics and Microengineering
DOI:
10.1088/0960-1317/15/10/S06
Date:
October, 2005
Fichier:
PDF, 1.01 MB
english, 2005
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