Nanoprober-based EBIC measurements for nanowire transistor...

Nanoprober-based EBIC measurements for nanowire transistor structures

Arstila, K., Hantschel, T., Schulze, A., Vandooren, A., Verhulst, A.S., Rooyackers, R., Eyben, P., Vandervorst, W.

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Volume:

105

Langue:

english

Journal:

Microelectronic Engineering

DOI:

10.1016/j.mee.2012.08.006

Date:

May, 2013

Fichier:

PDF, 1.01 MB

english, 2013

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