Studies of pulse operation regime of microwave plasma CVD...

Diamond and Related Materials 2002 / 3 Vol. 11; Iss. 3-6

Studies of pulse operation regime of microwave plasma CVD reactor

Akhmedzhanov, R.A., Vikharev, A.L., Gorbachev, A.M., Koldanov, V.A., Radishchev, D.B
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Volume:
11
Langue:
english
Journal:
Diamond and Related Materials
DOI:
10.1016/S0925-9635(01)00554-4
Date:
March, 2002
Fichier:
PDF, 169 KB
english, 2002
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