Extremely low temperature growth of ZnO by atomic layer...

Extremely low temperature growth of ZnO by atomic layer deposition

Guziewicz, E., Kowalik, I. A., Godlewski, M., Kopalko, K., Osinniy, V., WoÌjcik, A., Yatsunenko, S., Åusakowska, E., Paszkowicz, W., Guziewicz, M.

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Volume:

103

Année:

2008

Langue:

english

Journal:

Journal of Applied Physics

DOI:

10.1063/1.2836819

Fichier:

PDF, 745 KB

english, 2008

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