Mosaicity of GaN Epitaxial Layers: Simulation and...

physica status solidi (b) 2001 Vol. 228; Iss. 2

Mosaicity of GaN Epitaxial Layers: Simulation and Experiment

R. Chierchia, T. Böttcher, S. Figge, M. Diesselberg, H. Heinke, D. Hommel
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Volume:
228
Année:
2001
Langue:
english
Pages:
4
DOI:
10.1002/1521-3951(200111)228:23.0.co;2-5
Fichier:
PDF, 88 KB
english, 2001
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