Fabrication of Sub-10-nm Silicon Nanowire Arrays by Size...

Journal of Physical Chemistry B 2003 / 04 Vol. 107; Iss. 15

Fabrication of Sub-10-nm Silicon Nanowire Arrays by Size Reduction Lithography

Choi, Yang-Kyu, Zhu, Ji, Grunes, Jeff, Bokor, Jeffrey, Somorjai, Gabor. A.
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Volume:
107
Langue:
english
Journal:
The Journal of Physical Chemistry B
DOI:
10.1021/jp0222649
Date:
April, 2003
Fichier:
PDF, 190 KB
english, 2003
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