An Optical In-Plane MEMS Vibration Sensor

IEEE Sensors Journal 2011 / 11 Vol. 11; Iss. 11

An Optical In-Plane MEMS Vibration Sensor

Hortschitz, Wilfried, Steiner, Harald, Sachse, Matthias, Stifter, Michael, Kohl, Franz, Schalko, Johannes, Jachimowicz, Artur, Keplinger, Franz, Sauter, Thilo
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Volume:
11
Langue:
english
Journal:
IEEE Sensors Journal
DOI:
10.1109/JSEN.2011.2169781
Date:
November, 2011
Fichier:
PDF, 1.65 MB
english, 2011
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