Long-term RF Burn-in Effects on Dielectric Charging of MEMS...

IEEE Transactions on Device and Materials Reliability 2013 / 03 Vol. 13; Iss. 1

Long-term RF Burn-in Effects on Dielectric Charging of MEMS Capacitive Switches

Molinero, David, Luo, Xi, Shen, Chao, Palego, Cristiano, Hwang, James C. M., Goldsmith, Charles L.
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Volume:
13
Langue:
english
Pages:
6
Journal:
IEEE Transactions on Device and Materials Reliability
DOI:
10.1109/TDMR.2013.2246567
Date:
March, 2013
Fichier:
PDF, 842 KB
english, 2013
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