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Equirate magnetron sputtering of mosaic copper-graphite...

Technical Physics Letters 2013 / 01 Vol. 39; Iss. 1

Equirate magnetron sputtering of mosaic copper-graphite targets

Mankelevich, Yu. A., Mitin, A. V., Mitin, V. S., Pal’, A. F., Rakhimova, T. V., Ryabinkin, A. N., Serov, A. O., Luchkin, S. Yu.
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Volume:
39
Langue:
english
Pages:
3
Journal:
Technical Physics Letters
DOI:
10.1134/S1063785013010203
Date:
January, 2013
Fichier:
PDF, 161 KB
english, 2013
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