Nanoenergetic Materials for MEMS: A Review

Journal of Microelectromechanical Systems 2007 / 08 Vol. 16; Iss. 4

Nanoenergetic Materials for MEMS: A Review

Rossi, Carole, Zhang, Kaili, Esteve, Daniel, Alphonse, Pierre, Tailhades, Philippe, Vahlas, Constantin
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Volume:
16
Langue:
english
Journal:
Journal of Microelectromechanical Systems
DOI:
10.1109/JMEMS.2007.893519
Date:
August, 2007
Fichier:
PDF, 973 KB
english, 2007
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