Laser-induced chemical vapor deposition of nanostructured...

Journal of Applied Physics 1998 Vol. 83; Iss. 1

Laser-induced chemical vapor deposition of nanostructured silicon carbonitride thin films

Besling, W. F. A., Goossens, A., Meester, B., Schoonman, J.
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Volume:
83
Année:
1998
Langue:
english
Journal:
Journal of Applied Physics
DOI:
10.1063/1.366669
Fichier:
PDF, 1.16 MB
english, 1998
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