Dynamics of Interactions Between HF and Hafnium Oxide...

Dynamics of Interactions Between HF and Hafnium Oxide During Surface Preparation of High-K Dielectrics

Zamani, D., Keswani, M., Mahdavi, O., Yan, J., Raghavan, S., Shadman, F.

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Volume:

Année:

2012

Langue:

english

DOI:

10.1109/tsm.2012.2196295

Fichier:

PDF, 2.29 MB

english, 2012

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