A Two-Wafer Approach for Integration of Optical MEMS and...

IEEE Photonics Technology Letters 2010 Vol. 22; Iss. 5

A Two-Wafer Approach for Integration of Optical MEMS and Photonics on Silicon Substrate

Qingxin Zhang, Jing Zhang, Mingbin Yu, Chee Wei Tan, Guo-Qiang Lo, Dim-Lee Kwong
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Volume:
22
Année:
2010
Langue:
english
DOI:
10.1109/lpt.2009.2038236
Fichier:
PDF, 1.49 MB
english, 2010
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