Characteristics of NEMS Piezoresistive Silicon Nanowires...

Procedia Engineering 2011 Vol. 25; Iss. none

Characteristics of NEMS Piezoresistive Silicon Nanowires Pressure Sensors With various Diaphragm Layers

Liang Lou, Songsong Zhang, Lishiah Lim, Woo-Tae Park, Hanhua Feng, Dim-Lee Kwong, Chengkuo Lee
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Volume:
25
Année:
2011
Langue:
english
DOI:
10.1016/j.proeng.2011.12.354
Fichier:
PDF, 868 KB
english, 2011
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