A sub-nanometric three-axis surface encoder with...

Precision Engineering 2012 Vol. 36; Iss. 4

A sub-nanometric three-axis surface encoder with short-period planar gratings for stage motion measurement

Akihide Kimura, Wei Gao, WooJae Kim, Koji Hosono, Yuki Shimizu, Lei Shi, Lijiang Zeng
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Volume:
36
Année:
2012
Langue:
english
DOI:
10.1016/j.precisioneng.2012.04.005
Fichier:
PDF, 2.38 MB
english, 2012
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