Shell-type micromechanical actuator and resonator

Applied Physics Letters 2003 Vol. 83; Iss. 18

Shell-type micromechanical actuator and resonator

Zalalutdinov, Maxim, Aubin, Keith L., Reichenbach, Robert B., Zehnder, Alan T., Houston, Brian, Parpia, Jeevak M., Craighead, Harold G.
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Volume:
83
Année:
2003
Langue:
english
Journal:
Applied Physics Letters
DOI:
10.1063/1.1622792
Fichier:
PDF, 455 KB
english, 2003
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