Development and Characterization of a Piezoelectrically...

Procedia Engineering 2012 Vol. 47

Development and Characterization of a Piezoelectrically Actuated MEMS Digital Loudspeaker

Dejaeger, R., Casset, F., Desloges, B., Le Rhun, G., Robert, P., Fanget, S., Leclère, Q., Ege, K., Guyader, J.-L.
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Volume:
47
Année:
2012
Langue:
english
Journal:
Procedia Engineering
DOI:
10.1016/j.proeng.2012.09.114
Fichier:
PDF, 494 KB
english, 2012
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