Active multilayer mirrors for reflectance tuning at extreme...

Journal of Physics D Applied Physics 2012 / 12 Vol. 45; Iss. 49

Active multilayer mirrors for reflectance tuning at extreme ultraviolet (EUV) wavelengths

Bayraktar, Muharrem, Wessels, Werner A, Lee, Chris J, van Goor, Fred A, Koster, Gertjan, Rijnders, Guus, Bijkerk, Fred
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Volume:
45
Langue:
english
Journal:
Journal of Physics D: Applied Physics
DOI:
10.1088/0022-3727/45/49/494001
Date:
December, 2012
Fichier:
PDF, 228 KB
english, 2012
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