Experimental and Theoretical Study of Ion Energy...

IEEE Transactions on Plasma Science 2007 / 10 Vol. 35; Iss. 5

Experimental and Theoretical Study of Ion Energy Distribution Function in Single and Dual Frequency RF Discharges

Rakhimova, Tatyana V., Braginsky, Oleg V., Ivanov, Vladimir V., Kovalev, Alexander S., Lopaev, Dmitry V., Mankelevich, Yuri A., Olevanov, Michael A., Proshina, Olga V., Rakhimov, Alexander T., Vasilie
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Volume:
35
Langue:
english
Journal:
IEEE Transactions on Plasma Science
DOI:
10.1109/tps.2007.905201
Date:
October, 2007
Fichier:
PDF, 473 KB
english, 2007
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