Volume and surface rf power absorption in a helicon plasma...

Plasma Sources Science and Technology 1996 / 08 Vol. 5; Iss. 3

Volume and surface rf power absorption in a helicon plasma source

Shamrai, Konstantin P, Taranov, Vladimir B
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Volume:
5
Langue:
english
Journal:
Plasma Sources Science and Technology
DOI:
10.1088/0963-0252/5/3/015
Date:
August, 1996
Fichier:
PDF, 326 KB
english, 1996
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