Temperature Dependence of Quality Factor in MEMS Resonators

Bongsang Kim, Hopcroft, M.A., Candler, R.N., Jha, C.M., Agarwal, M., Melamud, R., Chandorkar, S.A., Yama, G., Kenny, T.W.

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Volume:

Année:

2008

Langue:

english

DOI:

10.1109/jmems.2008.924253

Fichier:

PDF, 1.26 MB

english, 2008

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