Removal of Diamond-Like Carbon Film by Oxygen-Dominated...

Japanese Journal of Applied Physics 2011 / 1 Vol. 50

Removal of Diamond-Like Carbon Film by Oxygen-Dominated Plasma Beam Converted from Filtered Carbon-Cathodic Arc

Tanoue, Hideto, Kamiya, Masao, Suda, Yoshiyuki, Takikawa, Hirofumi, Oke, Shinichiro, Hasegawa, Yushi, Taki, Makoto, Tsuji, Nobuhiro, Ishikawa, Takeshi, Yasui, Haruyuki
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Volume:
50
Langue:
english
Journal:
Japanese Journal of Applied Physics
DOI:
10.1143/jjap.50.01af12
Date:
January, 2011
Fichier:
PDF, 1012 KB
english, 2011
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