Using a Walking Piezo Actuator to Drive and Control a...

Using a Walking Piezo Actuator to Drive and Control a High-Precision Stage

Merry, R., de Kleijn, N., van de Molengraft, M., Steinbuch, M.

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Volume:

Année:

2009

Langue:

english

DOI:

10.1109/tmech.2008.2006756

Fichier:

PDF, 536 KB

english, 2009

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