The effect of nickel on the strain evolution in chemical...

The effect of nickel on the strain evolution in chemical copper films

Simon Bamberg, Laura K. Perry, Bruce Muir, Alaaedeen Abuzir, Frank Brüning, Ralf Brüning
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Volume:
520
Année:
2012
Langue:
english
DOI:
10.1016/j.tsf.2012.07.039
Fichier:
PDF, 1.03 MB
english, 2012
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