Oxygen plasma etching of carbon nano-structures containing...

Journal of Non-Crystalline Solids 2006 Vol. 352; Iss. 9-20

Oxygen plasma etching of carbon nano-structures containing nitrogen

J.J.S. Acuña, C.A. Figueroa, M.E.H. Maia da Costa, P. Paredez, C.T.M. Ribeiro, F. Alvarez
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Volume:
352
Année:
2006
Langue:
english
DOI:
10.1016/j.jnoncrysol.2005.10.027
Fichier:
PDF, 224 KB
english, 2006
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