Surface adhesion and demolding force dependence on resist...

Surface adhesion and demolding force dependence on resist composition in ultraviolet nanoimprint lithography

Alborz Amirsadeghi, Jae Jong Lee, Sunggook Park
Avez-vous aimé ce livre?
Quelle est la qualité du fichier téléchargé?
Veuillez télécharger le livre pour apprécier sa qualité
Quelle est la qualité des fichiers téléchargés?
Volume:
258
Année:
2011
Langue:
english
Pages:
1279
DOI:
10.1016/j.apsusc.2011.09.090
Fichier:
PDF, 691 KB
english, 2011
La conversion en est effectuée
La conversion en a échoué