XRR and XPS studies of SiO2 thin films formed by r.f....

Surface and Interface Analysis 1999 / 08 Vol. 28; Iss. 1

XRR and XPS studies of SiO2 thin films formed by r.f. magnetron sputtering

Kojima, Isao, Li, Boquan, Fujimoto, Toshiyuki
Avez-vous aimé ce livre?
Quelle est la qualité du fichier téléchargé?
Veuillez télécharger le livre pour apprécier sa qualité
Quelle est la qualité des fichiers téléchargés?
Volume:
28
Langue:
english
Pages:
4
Journal:
Surface and Interface Analysis
DOI:
10.1002/(sici)1096-9918(199908)28:13.0.co;2-o
Date:
August, 1999
Fichier:
PDF, 136 KB
english, 1999
La conversion en est effectuée
La conversion en a échoué