Structural characterization of amorphous SiCxNy chemical...

Structural characterization of amorphous SiCxNy chemical vapor deposited coatings

Bendeddouche, A., Berjoan, R., Beche, E., Merle-Mejean, T., Schamm, S., Serin, V., Taillades, G., Pradel, A., Hillel, R.

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Volume:

Année:

1997

Langue:

english

DOI:

10.1063/1.364396

Fichier:

PDF, 452 KB

english, 1997

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