Improved reflectance and stability of Mo-Si multilayers

Optical Engineering 2002 Vol. 41; Iss. 8

Improved reflectance and stability of Mo-Si multilayers

Bajt, Saša, Alameda, Jennifer B., Barbee, Troy W., Clift, W. Miles, Folta, James A., Kaufmann, Ben, Spiller, Eberhard A.
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Volume:
41
Année:
2002
Langue:
english
DOI:
10.1117/1.1489426
Fichier:
PDF, 328 KB
english, 2002
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