Influence of the mask magnification on imaging in hyper-NA...

Journal of the Optical Society of America A 2007 Vol. 24; Iss. 6

Influence of the mask magnification on imaging in hyper-NA lithography

Lin, Chun-Hung, Chen, Hsuen-Li, Ko, Fu-Hsiang
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Volume:
24
Année:
2007
Langue:
english
Journal:
josaa/24/6/josaa-24-6-1633.pdf
DOI:
10.1364/JOSAA.24.001633
Fichier:
PDF, 943 KB
english, 2007
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