Calibration of Subnanometer Motion with Picometer Accuracy

Applied Optics 2002 Vol. 41; Iss. 31

Calibration of Subnanometer Motion with Picometer Accuracy

Grecco, Hernán E., Martínez, Oscar E.
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Volume:
41
Année:
2002
Langue:
english
Journal:
ao/41/31/ao-41-31-6646.pdf
DOI:
10.1364/AO.41.006646
Fichier:
PDF, 116 KB
english, 2002
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