Charging Phenomena During Medium Current Ion Implantation...

IEEE Transactions on Semiconductor Manufacturing 2011 Vol. 24; Iss. 3

Charging Phenomena During Medium Current Ion Implantation of Carbonized Photo-Resist Surface Layers

Shibata, S., Kamiyanagi, H., Kawase, F., Kaneki, R., Kawashima, T., Kitamura, A.
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Volume:
24
Année:
2011
Langue:
english
Pages:
9
DOI:
10.1109/tsm.2011.2128352
Fichier:
PDF, 796 KB
english, 2011
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