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HPSAC—A silicided amorphous-silicon contact and...

IEEE Transactions on Electron Devices 1987 Vol. 34; Iss. 3

HPSAC—A silicided amorphous-silicon contact and interconnect technology for VLSI

Wong, S.S., Chen, D.C., Merchant, P., Cass, T.R., Amano, J., Kuang Yi Chiu
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Volume:
34
Année:
1987
Langue:
english
Pages:
6
DOI:
10.1109/t-ed.1987.22967
Fichier:
PDF, 899 KB
english, 1987
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