Diamond growth on CoSi2/Si by bias-enhanced microwave...

Materials Chemistry and Physics 2001 Vol. 72; Iss. 2

Diamond growth on CoSi2/Si by bias-enhanced microwave plasma chemical vapor deposition method

Mao Rong Chen, Li Chang, Der Fu Chang, Hou Guang Chen
Avez-vous aimé ce livre?
Quelle est la qualité du fichier téléchargé?
Veuillez télécharger le livre pour apprécier sa qualité
Quelle est la qualité des fichiers téléchargés?
Volume:
72
Année:
2001
Langue:
english
Pages:
4
DOI:
10.1016/s0254-0584(01)00430-8
Fichier:
PDF, 214 KB
english, 2001
La conversion en est effectuée
La conversion en a échoué